【壓縮機(jī)網(wǎng)】半導(dǎo)體是電子科技的基石，其制造過(guò)程對(duì)壓縮空氣品質(zhì)要求極高。微量油分的污染可能影響設(shè)備品質(zhì)。為此，行業(yè)嚴(yán)格規(guī)定：壓縮空氣系統(tǒng)出口含油量需達(dá)到GB/T13277.1-2023（ISO8573.1）Class 0級(jí)無(wú)油標(biāo)準(zhǔn)，確保系統(tǒng)始終處于潔凈穩(wěn)定的狀態(tài)。

　　用戶背景介紹

　　本案例用戶是一家半導(dǎo)體核心設(shè)備制造企業(yè)，同時(shí)也是國(guó)內(nèi)該領(lǐng)域的創(chuàng)新引領(lǐng)者，致力于為集成電路制造業(yè)提供先進(jìn)的刻蝕裝備及系統(tǒng)化工藝解決方案。

　　選擇無(wú)油解決方案

　　用戶原有壓縮空氣系統(tǒng)采用75kW干式無(wú)油螺桿空壓機(jī)，多年運(yùn)行后，面臨故障率升高、使用成本升高及供氣能力下降的問(wèn)題。為了持續(xù)保障生產(chǎn)穩(wěn)定與0級(jí)無(wú)油標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合目前實(shí)際用氣需求，用戶最終選用:55kW催化無(wú)油空壓機(jī)(型號(hào)：BGC55-10II)。

　　▲用戶現(xiàn)場(chǎng)

　　設(shè)備安裝運(yùn)行后，使用油蒸汽檢測(cè)設(shè)備S120對(duì)催化無(wú)油空壓機(jī)出口的含油量進(jìn)行檢測(cè)。在客戶使用的額定工況下，檢測(cè)設(shè)備出口總含油量低至0.001mg/m?，達(dá)到ISO8573.1的0級(jí)無(wú)油標(biāo)準(zhǔn)。與原有75kW干式無(wú)油螺桿空壓機(jī)相比，催化無(wú)油空壓機(jī)不僅保證了同等高品質(zhì)的氣源，其節(jié)能效率也顯著提升，整體表現(xiàn)獲得了用戶的充分肯定。

　　▲催化無(wú)油空壓機(jī)(型號(hào)：BGC55-10II)現(xiàn)場(chǎng)出口含油量檢測(cè)結(jié)果

　　結(jié)語(yǔ)

　　鮑斯催化無(wú)油空壓機(jī)可提供高效節(jié)能、潔凈無(wú)油的壓縮空氣。設(shè)備不受高油氣、多粉塵及溫濕度波動(dòng)等復(fù)雜工況影響，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，為各行業(yè)生產(chǎn)品質(zhì)保駕護(hù)航。